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Technische Regel Entwurf
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
Issue date: 2018 03
Optical measurement of microtopography - Calibration of interference microscopes for form measurement
Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind di...
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Withdrawn
: 2020 02 01
Format:
Digital | 31 Pages
Language:
German
Currently valid:
ICS
Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
2020 02
Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes...
Technische Regel
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
2018 03
Optical measurement of microtopography - Calibration of interference microscopes for form measuremen...
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Technische Regel
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
Issue date :
2020 02
Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement