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Technische Regel

VDI 2840

Issue date: 2005 11

Carbon films - Basic knowledge, coating types and properties

Diese Richtlinie behandelt Beschichtungen aus Kohlenstoff, die mit den Verfahren der Vakuumbeschichtungstechnik (PVD oder CVD) abgeschieden werden. Diese modernen Schicht...
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Withdrawn : 2012 06 01
Diese Richtlinie behandelt Beschichtungen aus Kohlenstoff, die mit den Verfahren der Vakuumbeschichtungstechnik (PVD oder CVD) abgeschieden werden. Diese modernen Schichtsysteme reichen von den extrem harten Diamantschichten über die große Vielfalt der meist wasserstoffhaltigen amorphen Kohlenstoffschichten bis zu den weichen Graphitschichten. Die Richtlinie verfolgt zwei Ziele: Sie soll zum einen eine einheitliche Einteilung und Nomenklatur der Kohlenstoffschichten schaffen. Zum anderen soll sie dem potenziellen Nutzer von beschichteten Werkstücken eine Vorauswahl von geeigneten Kohlenstoff- Schichttypen ermöglichen. Es sind in dieser Richtlinie im Wesentlichen die Schichten behandelt, die industriell hergestellt werden. Nicht enthalten sind daher z.B. die a-C:X- und die ta-C:X-Schichten (X = Si, O, F, N, B ...), die sich noch in der industriellen Entwicklung befinden oder zurzeit nur eine sehr eingeschränkte Verwendung finden.
VDI 2840
2023 03
Carbon films - Fundamentals, film types, and properties
Technische Regel
VDI 2840
2012 06
Carbon films - Basic knowledge, film types and properties
Technische Regel
VDI 2840
2005 11
Carbon films - Basic knowledge, coating types and properties
Technische Regel
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VDI 2840
Issue date : 2012 06
Carbon films - Basic knowledge, film types and properties