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Norm
ÖVE/ÖNORM EN 62047-21
Issue date: 2015 06 01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson`s ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014) (german version)
In diesem Teil der IEC 62047 ist ein Verfahren zur Bestimmung der Querkontraktionszahl (Poissonzahl) auf der Grundlage von Messwerten festgelegt, die erhalten werden, wen...
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Valid
Publisher:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 18 Pages
Language:
German
Topics
IT, communication & electronic, Electromechanical components for electronic and telecommunications equipment, Electromechanical components in general
IT, communication & electronic, Electronic components, Other semiconductor devices
IT, communication & electronic, Electronic components, Semiconductor devices in general
Electric & lighting engineering, Electromechanical components for electronic and telecommunications equipment, Electromechanical components in general
In diesem Teil der IEC 62047 ist ein Verfahren zur Bestimmung der Querkontraktionszahl (Poissonzahl) auf der Grundlage von Messwerten festgelegt, die erhalten werden, wenn einachsige (uniaxiale) und zweiachsige (biaxiale) Beanspruchungen auf Dünnschichtwerkstoffe der Mikrosystemtechnik mit Längen sowie Breiten kleiner als 10 mm und Dicken kleiner als 10 µm ausgeübt werden.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-21
2015 06 01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson`s ratio o...
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