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Norm
ÖVE/ÖNORM EN 62047-14
Issue date: 2012 11 01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012) (german version)
In diesem Teil der ÖVE/ÖNORM EN 62047 sind Begriffe und Verfahren zum Ermitteln der Grenzformänderung (Formänderungsvermögen) von metallischen Dünnschichtwerkstoffen mit ...
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Valid
Publisher:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 20 Pages
Language:
German
Topics
IT, communication & electronic, Electromechanical components for electronic and telecommunications equipment, Electromechanical components in general
IT, communication & electronic, Electronic components, Other semiconductor devices
IT, communication & electronic, Electronic components, Semiconductor devices in general
Electric & lighting engineering, Electromechanical components for electronic and telecommunications equipment, Electromechanical components in general
In diesem Teil der ÖVE/ÖNORM EN 62047 sind Begriffe und Verfahren zum Ermitteln der Grenzformänderung (Formänderungsvermögen) von metallischen Dünnschichtwerkstoffen mit Dicken im Bereich von 0,5 µm bis 300 µm festgelegt. Die hier beschriebenen metallischen Dünnschichtwerkstoffe werden üblicherweise in Bauelementen der Elektronik und Mikrosystemtechnik sowie in Mikrobauteilen verwendet. Wenn metallische Dünnschichtwerkstoffe, die in Bauelementen der Mikrosystemtechnik (siehe ÖVE/ÖNORM EN 62047-1:2005, 2.1.2) eingesetzt werden, mithilfe von Umformverfahren wie dem Prägen hergestellt werden, dann ist es notwendig, das Werkstoffversagen zu prognostizieren, um die Zuverlässigkeit der Bauelemente zu verbessern. Mittels dieser Vorhersage kann außerdem die Fertigungseffektivität von Umformverfahren für Bauelemente der Mikrosystemtechnik verbessert werden, da sowohl der Entwicklungszeitraum eines Erzeugnisses als auch die Fertigungskosten reduziert werden können. In diesem Dokument wird eines der Vorhersageverfahren zum Werkstoffversagen während eines Prägeprozesses dargelegt.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-14
2012 11 01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of...
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