Please select and order
€120.67
excl. VAT plus shipping costs
CONFIGURE NOW
Norm

ÖVE/ÖNORM EN 62047-11

Issue date: 2014 06 01

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013) (german version)

Dieser Teil von ÖVE/ÖNORM EN 62047 legt das Verfahren fest zum Messen des linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten (CLTE) (en: coefficient of linear thermal expansio...
Read more
Valid
Dieser Teil von ÖVE/ÖNORM EN 62047 legt das Verfahren fest zum Messen des linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten (CLTE) (en: coefficient of linear thermal expansion) von dünnen, freistehenden festen (metallischen, keramischen, polymeren usw.) Werkstoffen der Mikrosystemtechnik (MEMS) (en: micro-electro-mechanical system) mit Längen zwischen 0,1 mm und 1 mm, Breiten zwischen 10 µm und 1 mm und Dicken zwischen 0,1 µm und 1 mm, die als Hauptbestandteile für MEMS, Mikrobauteile und andere verwendet werden. Dieses Prüfverfahren ist zur Messung des CLTE im Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 30 % der Schmelztemperatur des Werkstoffs geeignet.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-11
2014 06 01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of l...
Norm