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Technische Regel
DIN IEC/TS 62622*DIN SPEC 42622
Issue date: 2014 09
Nanotechnologies - Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial gratings (IEC/TS 62622:2012)
Das vorliegende Dokument spezifiziert eine generische Terminologie für die globalen und lokalen Qualitätsparameter von künstlichen Gittern, die als Abweichungen von den n...
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Withdrawn
: 2024 01 01
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 38 Pages
Language:
German
ICS
Das vorliegende Dokument spezifiziert eine generische Terminologie für die globalen und lokalen Qualitätsparameter von künstlichen Gittern, die als Abweichungen von den nominalen Positionen der Gitterstrukturen anzusehen sind. Das Dokument bietet auch eine Anleitung dafür, wie die Mess- und Auswertemethoden zur Bestimmung dieser Parameter kategorisiert werden können.
DIN IEC/TS 62622*DIN SPEC 42622
2014 09
Nanotechnologies - Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial grating...
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