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Norm
DIN EN ISO 10692-2
Issue date: 2003 04
Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the microelectronic industry - Part 2: Specification and type testing for valve to cylinder connections (ISO 10692-2:2001); German version EN ISO 10692-2:2001
Das Dokument legt eine Prüffolge und Abnahmebedingungen für Ventil/Flaschenverbindungen für Gase und Gasgemische für bestimmte Betriebsbedingungen fest, wo der höchste Re...
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Valid
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 10 Pages
Language:
German
| English
ICS
Das Dokument legt eine Prüffolge und Abnahmebedingungen für Ventil/Flaschenverbindungen für Gase und Gasgemische für bestimmte Betriebsbedingungen fest, wo der höchste Reinheitsgrad und/oder die höchste Partikelfreiheit, z. B. bei der Herstellung von Komponenten der Mikroelektronik, gefordert wird. Es legt ein verbindliches Programm für die Typprüfung fest, damit die Sicherheit der Verbindung gewährleistet ist. Zusätzliche Prüfungen werden für die Bestätigung der Haltbarkeit vorgeschlagen und anderer Betriebseigenschaften der Verbindungen sind im Anhang A enthalten.