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Norm
DIN EN 62047-4
Issue date: 2011 03
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010
In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Fachgrundspezifikationen für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MST) als Basis für die Spezifikationen beschrieben, welche in anderen T...
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Valid
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 22 Pages
Language:
German
Topics
IT, communication & electronic, Electromechanical components for electronic and telecommunications equipment, Electromechanical components in general
IT, communication & electronic, Electronic components, Semiconductor devices in general
Electric & lighting engineering, Electromechanical components for electronic and telecommunications equipment, Electromechanical components in general
In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Fachgrundspezifikationen für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MST) als Basis für die Spezifikationen beschrieben, welche in anderen Teilen dieser Serie für unterschiedliche MST-Anwendungsbereiche angegeben sind. Diese Norm enthält Festlegungen sowohl zu allgemeinen Verfahren für Qualitätsbewertungen, um sie innerhalb des IECQ-CECC-Systems zu verwenden, als auch allgemeine Prinzipien zur Beschreibung und Messung bzw. Prüfung von elektrischen, optischen, mechanischen und umgebungsspezifischen Kenngrößen. Bauteile der Mikrosystemtechnik, die in dieser Norm beschrieben sind, werden grundsätzlich auf der Basis von Halbleiter-Werkstoffen hergestellt.
DIN EN 62047-4
2011 03
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IE...
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