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Norm
DIN EN 62047-17
Issue date: 2015 12
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015
Dieses Dokument legt ein Verfahren für die Durchführung von Wölbungsprüfungen (Bulge-/Tiefen-Prüfungen) an einer freistehenden Schicht, die innerhalb eines Fensters gewöl...
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Valid
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 28 Pages
Language:
German
Topics
IT, communication & electronic, Electromechanical components for electronic and telecommunications equipment, Electromechanical components in general
IT, communication & electronic, Electronic components, Semiconductor devices in general
Electric & lighting engineering, Electromechanical components for electronic and telecommunications equipment, Electromechanical components in general
Dieses Dokument legt ein Verfahren für die Durchführung von Wölbungsprüfungen (Bulge-/Tiefen-Prüfungen) an einer freistehenden Schicht, die innerhalb eines Fensters gewölbt wird, fest. Die Dünnschicht-Mikroproben werden auf Basis von Mikro/Nano-Schicht-Werkstoffen hergestellt. Die Dicke der Schichten liegt im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm.
DIN EN 62047-17
2015 12
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring m...
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