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Norm
DIN 50450-1
Issue date: 1987 08
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell
Die Norm beschreibt ein Prüfverfahren zur Bestimmung der Wasserverunreinigung in Träger- und Dotiergasen (H, O, N, Ar, He), die in der Halbleitertechnologie verwendet wer...
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Valid
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 2 Pages
Language:
German
ICS
Die Norm beschreibt ein Prüfverfahren zur Bestimmung der Wasserverunreinigung in Träger- und Dotiergasen (H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar, He), die in der Halbleitertechnologie verwendet werden.