Please select and order
€59.73
excl. VAT
CONFIGURE NOW
Norm
DIN 32567-4
Issue date: 2015 06
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures
Dieses Dokument gibt für die optische topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschafte...
Read more
Valid
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 13 Pages
Language:
German
ICS
Dieses Dokument gibt für die optische topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschaften aufweisen, Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke ermittelt werden können.
DIN 32567-4
2015 06
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical a...
Norm
↖