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Norm
DIN 32567-3
Issue date: 2014 10
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
Dieses Dokument gibt für die taktile topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschaften...
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Valid
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 28 Pages
Language:
German
ICS
Dieses Dokument gibt für die taktile topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschaften aufweisen, Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke ermittelt werden können.
DIN 32567-3
2014 10
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical a...
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