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Norm
DIN 32567-2
Issue date: 2014 10
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures
Dieses Dokument beschreibt Prüfkörper für topografische Schichtdickenmessungen zur Untersuchung der systematischen Effekte, die auftreten, wenn Schicht und Substrat unter...
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Valid
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 13 Pages
Language:
German
ICS
Dieses Dokument beschreibt Prüfkörper für topografische Schichtdickenmessungen zur Untersuchung der systematischen Effekte, die auftreten, wenn Schicht und Substrat unterschiedliche physikalische Eigenschaften aufweisen.
DIN 32567-2
2014 10
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical a...
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