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Norm
DIN 32567-1
Issue date: 2015 06
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 1: Qualitative estimation of the material and procedure specific influences
Dieses Dokument gibt für die Messung der Schichtdicke und Stufenhöhe der Gestalt aus inhomogenen Materialien mit Tastschnitt-, Weißlichtinterferenz-, Phasenschiebeinterfe...
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Valid
Publisher:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 19 Pages
Language:
German
ICS
Dieses Dokument gibt für die Messung der Schichtdicke und Stufenhöhe der Gestalt aus inhomogenen Materialien mit Tastschnitt-, Weißlichtinterferenz-, Phasenschiebeinterferenz- und konfokalmikroskopischen Messgeräten Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke bzw. Stufenhöhe aufgrund von Materialeinflüssen ermittelt werden können.
DIN 32567-1
2015 06
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical a...
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