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Aktuell

ÖNORM EN ISO 23131

Ausgabedatum: 2023 02 15

Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021)

Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkreditierte Prüflaboratorien fest. Es ist anwendbar für stand-alone-Messsysteme. Die Darstellung der Ergebnisunsicherheit entspricht dem ISO/IEC Guide 98-3.

Allgemeine Information zur ÖNORM EN ISO 23131

Format

Digital | 22 Seiten

Sprache

Deutsch | Englisch | Download DE/EN

Herausgeber

Austrian Standards International

Komitee 050 Beschichtungsstoffe

ICS 17.020 Metrologie und Messwesen im Allgemeinen

Häufige Fragen zu ÖNORM EN ISO 23131

Was ist eine „Single-User-Lizenz“?

Beim Kauf eines Standards im Austrian Standards Webshop (z. B. ÖNORM, ISO) ist standardmäßig eine Single-User-Lizenz enthalten. Diese berechtigt eine einzelne Person zur Nutzung. Für den Zugriff durch mehrere Mitarbeitende ist eine Mehrfachnutzungslizenz erforderlich. Sie ermöglicht die unternehmensweite, rechtssichere Nutzung und Weitergabe von Standards.

Mehr zu den Vorteilen von Mehrfachnutzungslizenzen

Wie kann ich in der Weiterentwicklung dieses Standards mitwirken?

Die Standardisierung lebt von Expertise und Mitwirkung. Interessierte können sich aktiv in die Weiterentwicklung einbringen – etwa durch die Teilnahme im zuständigen Komitee oder in einer Arbeitsgruppe. So gestalten Sie Inhalte mit und tragen zur Weiterentwicklung des Standes der Technik bei.

Mehr zur Mitarbeit in der Standardisierung

Wie kann ich meine Standards effizient verwalten?

Bei einem umfangreichen Normenportfolio empfiehlt sich der Einsatz eines professionellen Normenmanagement-Tools. Mit effects 2.0 verwalten Sie Ihre Standards zentral und effizient. Sie optimieren Ihre Beschaffungsprozesse und profitieren von einem integrierten Informations- und Aboservice. So bleiben Sie stets auf dem aktuellen Stand und verpassen keine relevanten Entwicklungen.

Mehr zu den Vorteilen von effects 2.0

Normative Verweise

Hier finden Sie einen Auszug der normativen Verweise. Die vollständige Liste entnehmen Sie bitte dem Dokument selbst.

Dokumentnummer	Titel	Ausgabedatum	Art	Link
Dokumentnummer ISO/IEC Guide 98-3:2008	Titel Uncertainty of measurement — Part 3: Guide to the expression of uncertainty in measurement (GUM:1995) (Corrected version 2010-11)	Ausgabedatum 2008 09 30	Art Technische Regel	Zur Produktseite

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