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Norm
DIN EN 62047-14
Ausgabedatum: 2012 10
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe (IEC 62047-14:2012); Deutsche Fassung EN 62047-14:2012
In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Begriffe und Verfahren zum Ermitteln der Grenzformänderung (Formänderungsvermögen) von metallischen Dünnschichtwerkstoffen mit Dicken...
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Gültig
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 20 Seiten
Sprache:
Deutsch
Fachgebiete
IT, Kommunikation & Elektronik, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte im Allgemeinen
IT, Kommunikation & Elektronik, Elektronische Bauelemente, Halbleiterbauelemente im Allgemeinen
Elektrotechnik & Lichttechnik, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte, Elektromechanische Bauelemente für elektronische und Telekommunikationsgeräte im Allgemeinen
In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Begriffe und Verfahren zum Ermitteln der Grenzformänderung (Formänderungsvermögen) von metallischen Dünnschichtwerkstoffen mit Dicken im Bereich von 0,5 µm bis 300 µm festgelegt. Die hier beschriebenen metallischen Dünnschichtwerkstoffe werden üblicherweise in Bauelementen der Elektronik und Mikrosystemtechnik sowie in Mikrobauteilen verwendet.
DIN EN 62047-14
2012 10
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der G...
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