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ÖVE/ÖNORM EN 62417

Ausgabedatum: 2011 01 01

Halbleiterbauelemente - Prüfverfahren auf mobile Ionen für Feldeffekttransistoren mit Metall-Oxid-Halbleiter (MOSFET) (IEC 62417:2010)

In dieser ÖVE/ÖNORM EN ist ein Prüfverfahren festgelegt, um den Betrag positiver mobiler Ionen in Oxidschichten von Metall-Oxid-Halbleiter-Feld-Effekt-Transistoren auf Waferniveau zu bestimmen. Das Prüfverfahren ist sowohl auf aktive als auch auf parasitäre Feld-Effekt-Transistoren anwendbar. Die mobile Ladung kann Degradationen des mikroelektronischen Bauelementes verursachen wie eine Schwellspannungsdrift des MOSFET oder eine Basisinversion in Bipolartransistoren.

Allgemeine Information zur ÖVE/ÖNORM EN 62417

Format
Papier | 9 Seiten
Sprache
Deutsch | Englisch
Herausgeber
Austrian Standards International

Häufige Fragen zu ÖVE/ÖNORM EN 62417

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