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Aktuell

ÖVE/ÖNORM EN 62047-6

Ausgabedatum: 2010 08 01

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-6:2009)

In dieser ÖVE/ÖNORM EN ist ein Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit mit Zug-Zug-Beanspruchung bei konstanten Bereichen jeweils von Spannungs- bzw. Dehnungsamplitude festgelegt, und zwar für Dünnschicht-Werkstoffe mit einer Länge und Breite jeweils kleiner als 1 mm und einer Dicke im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm. Dünnschichten werden als Basiswerkstoffe für die Herstellung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Mikromaschinen verwendet. In dieser Internationalen Norm ist ein Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit mit Zug-Zug-Beanspruchung bei konstanten Bereichen jeweils von Spannungs- bzw. Dehnungsamplitude festgelegt, und zwar für Dünnschicht-Werkstoffe mit einer Länge und Breite jeweils kleiner als 1 mm und einer Dicke im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm. Dünnschichten werden als Basiswerkstoffe für die Herstellung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Mikromaschinen verwendet.

Allgemeine Information zur ÖVE/ÖNORM EN 62047-6

Format

Papier | 17 Seiten

Sprache

Deutsch | Englisch

Herausgeber

Austrian Standards International

ICS 31.080.99 Weitere Halbleiterbauelemente

Häufige Fragen zu ÖVE/ÖNORM EN 62047-6

Was ist eine „Single-User-Lizenz“?

Beim Kauf eines Standards im Austrian Standards Webshop (z. B. ÖNORM, ISO) ist standardmäßig eine Single-User-Lizenz enthalten. Diese berechtigt eine einzelne Person zur Nutzung. Für den Zugriff durch mehrere Mitarbeitende ist eine Mehrfachnutzungslizenz erforderlich. Sie ermöglicht die unternehmensweite, rechtssichere Nutzung und Weitergabe von Standards.

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