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Norm
ÖNORM EN ISO 14644-1
Ausgabedatum: 2016 05 15
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-1:2015)
Dieser Teil der ISO 14644 enthält die Klassifizierung der Luftreinheit in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen sowie von SD-Modulen (en: separative device, SD) na...
Gültig
Herausgeber:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 52 Seiten
Sprache:
Deutsch
| Englisch
| Download DE/EN
Standards mitgestalten:
ICS
Fachgebiete
Dieser Teil der ISO 14644 enthält die Klassifizierung der Luftreinheit in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen sowie von SD-Modulen (en: separative device, SD) nach ISO 14644-7 anhand der Konzentration luftgetragener Partikel.
Für Klassifizierungszwecke werden nur Partikelgruppen in Betracht gezogen, deren Summenhäufigkeitsverteilung auf dem Schwellenwert der Partikelgröße (untere (Nachweis-) Grenze) beruht, der von 0,1 µm bis 5 µm reicht.
Die Anwendung von Streulicht-Einzelpartikelzählern (LSAPC, en. light scattering (discrete) airborne particle counter) ist die Grundlage für die Bestimmung der Konzentration luftgetragener Partikel gleich und größer dem festgelegten Größenbereich an gekennzeichneten Probenahmeorten.
Dieser Teil der ISO 14644 trifft nicht auf die Klassifizierung von Partikelgruppen zu, die außerhalb des festgelegten unteren Schwellenwerts (Nachweisgrenze) der Partikelgröße im Bereich zwischen 0,1 µm und 5 µm liegen. Konzentrationen von ultrafeinen Partikeln (nanoskalige Partikel kleiner als 0,1 µm) werden in einem anderen Teil der Normenreihe behandelt, der die Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration luftgetragener Nanopartikel festlegt, während ein M-Deskriptor (siehe Anhang C) zur Quantifizierung von Makropartikelgruppen (Partikel größer als 5 µm) angewendet werden darf.
Dieser Teil der ISO 14644 eignet sich nicht zur Charakterisierung der physikalischen, chemischen, radiologischen sowie der lebensfähigen (aktiven) oder der anderen Arten von luftgetragenen Partikeln.
ÖNORM EN ISO 14644-1
2016 05 15
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Part...
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ÖNORM EN ISO 14644-1
1999 08 01
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit (ISO 14644-1:19...
Norm
Norm
Ausgabedatum :
2015 12 09
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
Norm
Ausgabedatum :
2004 10 07
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)
Norm
Ausgabedatum :
2015 12 09
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration