ÖNORM EN ISO 14571

Dieses Dokument legt ein Verfahren für zerstörungsfreie Messungen der Dicke von elektrisch leitenden Überzügen auf nichtleitenden Grundwerkstoffen fest. Dieses Verfahren beruht auf dem Prinzip der Flächenwiderstandsmessung und ist auf alle leitfähigen Überzügen und Schichten aus metallischen und halbleitenden Materialien anwendbar. Generell muss die Sonde an die Leitfähigkeit und die Schichtdicke des jeweiligen Einsatzfalls angepasst sein. Dieses Dokument befasst sich jedoch ausschließlich mit metallischen Überzügen auf nichtleitenden Grundwerkstoffen (z. B. Kupfer auf Kunststoffsubstraten, Leiterplatten). Dieses Verfahren ist ebenfalls für die Schichtdickenmessung von leitfähigen Überzügen auf leitfähigen Grundmaterialien anwendbar, wenn sich der spezifische Widerstand vom Grundmaterial von dem des Überzuges unterscheidet. Dieser Fall wird in diesem Dokument nicht berücksichtigt.