ÖNORM EN 1518

Diese Europäische Norm legt Begriffe und Verfahren für die Charakterisierung von massenspektrometrischen Leckdetektoren (MSLD) fest. Es soll kein kompletter Satz von Spezifikationen für einen Abnahmetest angegeben werden, sondern es werden Vorgehensweisen beschrieben, die ohne spezielle Kalibrierausrüstung angewendet werden können. Ein MSLD hat ein integriertes Hochvakuumsystem, um den Sensor (das Massenspektrometer) bei niedrigem Arbeitsdruck zu halten und einen Partialdruck zu erzeugen, der von dem ankommenden Gasstrom abhängt. Dieser Druck wird vom Massenspektrometer quantitativ gemessen. Geräte dieser Art können selektiv die Strömungsrate eines Prüfgases messen. In den meisten Fällen wird dieses Prüfgas Helium sein, das in ein oder aus einem Leck strömt. Die in dieser Norm beschriebenen Methoden sind ohne Einschränkungen auf Helium als Prüfgas anwendbar. Für andere Gase können zusätzliche Vorsichtsmaßnahmen notwendig sein. Die hier beschriebenen Methoden sind auf allgemein erhältliche MSLD des heutigen Standes der Technik anwendbar, die Leckageraten bis herab zu 10^(-12) Pa·m^(3)/s messen können.