DIN EN ISO 25178-700

Dieses Dokument legt allgemeine Verfahren für die Kalibrierung, Justierung und Verifizierung von messtechnischen Merkmalen fest, die flächenhafte Topographiemessgeräte gemeinsam haben, wie in ISO 25178-600 angegeben. Da Oberflächenprofile aus Bildern von Oberflächentopographien extrahiert werden können, lassen sich die meisten der in diesem Dokument beschriebenen Verfahren an Profilmessgeräte angepasst. Messgerätespezifische Fragen werden in diesem Dokument nicht behandelt. Für Geräte, die auf mechanischer Abtastung beruhen und bei denen die Sonde einer zusätzlichen bogenförmigen Bewegung folgt, sind beispielsweise in ISO 25178-701 zusätzliche Maßnahmen festgelegt. Dieses Dokument schließt keine Verfahren für flächenhaft integrierende Methoden ein, obwohl diese ebenfalls in ISO 25178-6 angegeben sind. Lichtstreuung gehört beispielsweise zu einer Klasse von Techniken, die als flächenhaft integrierende Methoden zur Messung der Oberflächentopographie bekannt sind.