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Norm
DIN 50450-9
Ausgabedatum: 2021 07
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung des Stoffmengenanteils an Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C-C-Kohlenwass...
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Gültig
Herausgeber:
Deutsches Institut für Normung
Format:
Digital | 8 Seiten
Sprache:
Deutsch
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung des Stoffmengenanteils an Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff aus der Gasphase fest.
DIN 50450-9
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